Monolithic integration of thick NDFEB micro-magnets into MEMS: application to electromagnetic energy harvesting - Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique
Communication Dans Un Congrès Année : 2023

Monolithic integration of thick NDFEB micro-magnets into MEMS: application to electromagnetic energy harvesting

Thibaut Devillers
Liviu Nicu
Thomas Blon
Nora Dempsey
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Dates et versions

hal-04660346 , version 1 (23-07-2024)

Identifiants

  • HAL Id : hal-04660346 , version 1

Citer

José Elías Angulo-Cervera, Frederico Orlandini Keller, Ilona Lecerf, Pierre Moritz, Fabrice Mathieu, et al.. Monolithic integration of thick NDFEB micro-magnets into MEMS: application to electromagnetic energy harvesting. 22nd International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2023), Jun 2023, Kyoto, Japan. ⟨hal-04660346⟩
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